一、压力衰减法（核心判定手段）
操作流程
关闭气源（氧气/氮气）后，观察压力表读数：若压力在10分钟内下降超过额定值的1%，则判定为漏气。
对高精度设备，需通过软件界面执行“气密性自检”程序，系统会自动生成压力曲线和泄漏率报告。
判定标准
工业级设备允许泄漏率通常≤0.5%/小时，科研仪器要求≤0.1%/小时。
二、辅助检测方法
肥皂水检漏法
将肥皂水涂抹于管路接口、阀门等部位，若出现持续气泡则存在泄漏。
适用于快速定位可见漏点，但对微小泄漏（<1×10⁻⁶ Pa·m³/s）不敏感。
声音检测法
在设备运行时靠近气路系统，若听到明显嘶嘶声，提示可能存在高压气体泄漏。
三、特殊场景处理
SF6气室等特殊介质：需采用氦气质谱检漏法，通过质谱仪检测示踪气体（如氦气）浓度定位泄漏。
四、注意事项
安全防护：检测高压气路时需佩戴防护装备，避免气体喷射风险。
维护周期：建议每月进行一次气密性检查，高温部件需冷却至室温后再测试。
